1. FeCl3 濃度(du)。在50℃溫度(du)和HCl 12mL/L時:
①. FeCl3 低于600g/L時,蝕刻速率很慢,難以達到蝕刻效果;
②. FeCl3為600~900g/L時,蝕刻速率隨著FeCl3濃度的增大而增加;
③. FeCl3 大于900g/L時、蝕刻速率隨著FeCl3濃度的增高而減小,而且蝕刻需出現不均勻現象,這是由于蝕刻產物在蝕刻表面上結晶析出所致。
因此,FeCl3 濃度應控制在660~850g/L。
攪(jiao)拌有利于蝕(shi)刻產物的溶解和離去,但攪(jiao)拌應適度進行,因為(wei)攪(jiao)拌速率過(guo)急,會引起(qi)圖紋膜的脫(tuo)落。
2. 鹽(yan)酸濃度
鹽酸有利于提高蝕刻的速率,可避免Fe3+水解成Fe(OH)3。實驗結果顯示,采用8~20mL/L的鹽酸效果較好。
3. 蝕(shi)刻液溫(wen)度
溫(wen)(wen)(wen)度(du)影(ying)響蝕刻(ke)(ke)速率,又影(ying)響蝕刻(ke)(ke)面(mian)的(de)光(guang)(guang)澤度(du)、平(ping)整(zheng)性和圖紋膜的(de)穩定性。溫(wen)(wen)(wen)度(du)太(tai)高,使蝕刻(ke)(ke)面(mian)粗糙度(du)增大和咬邊現象明顯。因(yin)此,綜(zong)合考慮蝕刻(ke)(ke)速率、蝕刻(ke)(ke)光(guang)(guang)澤效果和圖紋膜的(de)熱穩定性、溫(wen)(wen)(wen)度(du)控制在45~50℃為宜(yi)。
4. 蝕刻溶(rong)液維護與再(zai)生
隨著蝕刻反應的進行,Fe3+不斷消耗,在蝕刻過程中轉變為Fe2+,鹽酸的H+也逐漸消耗,蝕刻速率逐漸減慢,因此,在蝕刻過程中,及時補加鹽酸、FeCl3和雙氧水H2O2,使Fe2+被氧化恢復成Fe3+,使蝕刻溶液的蝕刻能力再生。及時分析溶液中FeCl3和HCl的濃度,以便補充至最佳范圍。
5. 蝕刻(ke)溶液(ye)的老化
隨著蝕刻的進行,不銹鋼中的Cr、Ni和Fe不斷溶解,溶液中Cr3+、Ni2+和Fe2+的濃度不斷增大,當濃度增大到一定值后,無論如何調整也達不到蝕刻效果,此時蝕刻溶液達到老化狀態,應局部或全部棄去,重新配置。